技术编号：3413681
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种MgO薄膜的制备方法及所得产品，特别是一种透 明MgO薄膜的制备方法及所得产品。背景技术目前MgO (氧化镁)功能薄膜作为彩色等离子体显示器的介质保护 层引起了人们的广泛兴趣，并得到了实际的应用。在现有技术中，MgO 薄膜的主要制备方法有电子束蒸发法和磁控溅射法等。其中，电子束蒸发法以纯MgO作为蒸发材料，采用电子束聚焦加热 的方式使MgO蒸发。但是，这种方法制备出的薄膜存在很多空隙，薄膜 与衬底结合不牢固，在退火过程中容易开裂。其中，磁控...
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