技术编号:3416617
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种结晶方法,特别是涉及一种利用微波(microwave)提升金属薄膜结晶性(crystallinity)的方法及其方法所制得的具有(111)优选方位(preferredorientation)的金属薄膜材料。背景技术近年来,利用微波来提升金(Au)薄膜的结晶性等研究已见有许多相关报导。Hidekazu Sueyoshi 等人于 Material Transactions, Vol. 48, No. 3 (2007) pp. 531to 537 ...
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