技术编号：3416791
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及靶材制造领域，尤其涉及。 背景技术现有的多数靶材的加工方法主要是控制塑性变形方式、变形速率，并且控制过程中的温度变化。例如，申请号为00816972. 1中国专利申请介绍了一种制备溅射靶材的方法。以至少5%的加工百分比和至少100% /秒的加工速率对金属材料进行塑性加工，并且控制材料加工过程中的温度变化，这样可以良好的控制材料的晶粒度尺寸。参见图1所示，现有技术中的包括以下步骤步骤Si，提供钽料件；步骤S2，对钽料件进行切割；步骤S3，对切割后的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。