技术编号:3417337
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及Cu电极保护膜用NiCu合金靶材以及叠层膜,具体而言,本发明涉及用于形成用作触摸面板或液晶面板的电极的Cu电极保护膜的Cu电极保护膜用MCu合金靶材、以及使用该靶材而制造的叠层膜。背景技术触摸面板、以及薄型大画面电视等中所使用的液晶面板具有在2块透明基板之间封闭有液晶这样的结构。在透明基板的内侧(液晶侧的一面)形成有作为液晶的工作电极的透明电极。在透明电极中,一般使用氧化铟锡(ITO)。另外,在形成有透明电极的基板表面的一部分中形成有作为外部输出...
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