技术编号:3417721
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于真空镀膜,涉及一种在管道内壁镀制各类薄膜的方法,可在不同的材料表面镀制金属、氧化物、氮化物、硫化物、氟化物等各类薄膜材料。背景技术薄膜技术经过100余年的发展,到现在已经相对完善和成熟,已发展为包括物理气相沉积、化学气相沉积和其它湿法薄膜制备技术三大类别的技术体系。但是,随着技术需求的发展,传统的薄膜技术仍然不能满足一些特殊的需求。例如,现有的各种真空镀膜技术,一般只能在平面或形状不太复杂的曲面上镀制薄膜,均无法实现在管道内壁镀膜,特别是在细长的...
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