技术编号:3417815
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及金刚石制备,具体涉及一种用原子层沉积设备制备金刚石的方法。背景技术金刚石俗称钻石,它是石墨的一种同素异形体,它是自然界中最坚硬的物质之一。 它具有超硬、耐磨、热传导快等特点。除此之外,钻石由于折射率高,在灯光下显得闪闪生辉,成为女士最爱的宝石。在工业生产上,金刚石主要用于制造钻头和磨削工具。目前制备金刚石的方法主要有石墨的高温高压转化法和PVD、CVD方法等。高温高压法要耗费较多的能量,切制备的薄膜质量不好,PVD法通过溅射石墨靶得到金刚石,但一...
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