技术编号:3417972
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于对收容在半导体器件的制造装置等中的基板的位置进行检测的基板位置检测装置、包括该基板位置检测装置的成膜装置以及基板位置检测方法。背景技术在半导体元件的制造工序中,将基板输送到以成膜装置、蚀刻装置、及检测装置为代表的各种制造装置的规定腔室内,对基板进行与各种装置相应的处理。基板被具有叉状件或末端执行器的输送臂输入到各装置内,但在腔室内必须准确地配置在规定位置。例如, 在成膜装置的腔室内自规定位置错位时,无法将基板均勻地加热,产生膜质及膜厚的均勻性...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。