技术编号:3418373
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方式主要涉及一种批处理腔室。更具体地,本发明的实施方 式涉及用于在批处理腔室中均匀加热衬底和气体均匀输送的方法和装置。背景技术术语批处理一般指在一个反应器中同时处理两个块或更多衬底。批处理衬 底存在多个优势。批处理通过执行与衬底处理顺序的其他工艺菜单步骤相比不 相称时长的工艺菜单步骤可增加衬底处理系统的产量。对于更长时间的菜单步 骤来说,使用批处理有效地减少每块衬底的处理时间。批处理的另一优势可以在使用昂贵的前驱物材料的一些处理步骤诸如ALD(...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。