技术编号:3418396
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种,且特别是有关于一种可提供不同的研磨液流场分布的。背景技术随着产业的进步,平坦化制程经常被采用为生产各种元件的制程。在平坦化制程中,化学机械研磨制程经常为产业所使用。 一般来说,化学机械研磨制程是借由供应具有化学品混合物的研磨液于研磨垫上,并对被研磨物件施加一压力以将其压置于研磨垫上,且在物件及研磨垫彼此进行相对运动。借由相对运动所产生的机械摩擦及研磨液的化学作用下,移除部分物件表层,而使其表面逐渐平坦,来达成平坦化的目的。图1是习知的一...
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