技术编号:3418404
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是涉及一种适于承载平面显示器的承座、 一种制作承座的方法以及 一种具有承座的化学气相沉积装置,且特别是此承载平面显示器的承座,可在 沉积制程的后可平滑地将玻璃基板自此承座分离,并在沉积制程中有效率地将 热传导至玻璃基板,与一种制作承座的方法以及一种具有承座的化学气相沉积 装置。背景技术平面显示器(flat display)已广泛应用于个人携带用终端器或是屏幕,而 使用于电视以及电脑中。平面显示器具有许多种类样式,诸如液晶显示器 (liquid cry...
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