技术编号：3418446
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于在基材上形成类金刚石(DLC )涂层(硬质碳薄膜) 的制造碳薄膜的方法和通过该制造方法形成的碳薄膜涂覆体。背景技术由于类金刚石碳涂层的高的硬度和低的摩擦系数，所以将类金刚石 碳涂层(下文称为DLC涂层)施用到滑动部分可有效地增强耐久性和 降低摩擦损失。近年来，这种DLC涂层经常用做各种滑动构件、工具、 磁记录介质、磁头等的保护膜。由于上述特点，如图10所示，DLC涂层1用于例如进行精细液压 控制而因此多次致动的液压阀2的阀轴3。由于液压阀2多...
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