技术编号：3418679
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是涉及一种蚀刻组合物，该组合物用于形成构成电子设备用阵列基板、特别是TFT-LCD (薄膜晶体管液晶显示器)用阵列基板的铜 配线。背景技术在TFT-LCD用阵列基板等电子设备用阵列基板上具有栅极、栅极配 线、源极、源极配线、漏极、漏极配线等电极和配线，这些电极和配线 承担着向元件传递信号的作用。目前上述配线材料主要使用Al或Al合 金。Al或Al合金的配线由于形成氧化被膜、发生电迁移及向Si中扩散 等，因而不采用Al或Al合金单膜。S卩，为防止上述问...
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