技术编号：3418767
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空分离装置，尤其涉及一种用于将砷化镓分离为金属镓 与金属砷的真空分解装置。背景技术从六十年开始，随着砷化镓化合物半导体的出现，从砷化镓化合物半导体 的合成、单晶的制备、晶片的生产以及到器件的制备过程，都留有砷化镓的尾 料。因此人们开始了从砷化镓中回收镓的工艺研究，主要有两种回收工艺思路，简述如下砷化镓在石英系统中的分离。因为砷化镓的合成是在石英系统中，在真空 条件下，123(TC左右，砷蒸汽与金属镓合成为砷化镓。因此，我国有关单位进 行了将...
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