技术编号:3419026
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基片支承装置及溅射设备。更具体来说,本发 明涉及一种基片支承装置以及一种包含设置在真空室中的这种基片 支承装置的溅射设备,所述基片支承装置以这种方式支承基片,使 得所述基片在真空室内与溅射靶相对,以便通过溅射在所述基片上 形成涂膜。背景技术通常所知的装饰品都具有所谓金属装饰,该金属装饰在由树脂 模制件或类似物构成的基片表面上(设计表面)提供看上去像金属 的表面。作为真的金属品的替代物,这些装饰品被广泛用作例如各 种产品和物件(诸如汽车内饰件、...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。