技术编号：3420348
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明背景本发明涉及一种溅射靶组件，该组件具有扩散连接至溅射靶的析出相强化的背板。为了降低成本和在某种情况为适应溅射室而制造的非常薄的溅射靶已经越来越引起人们的兴趣。在某种应用中，需要总厚度小于约1的溅射靶组件。然而，对这种溅射靶组件来说，背板的强度在溅射室的条件下应该非常高，在溅射过程中，其冷却面为高水压而另一面为高真空。热循环和溅射靶组件背面的循环冷却液和正面的真空造成的压力能够使靶背板组件产生弹性和塑性变形。尽管可以通过焊接不同的背板材料至靶子上形成...
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