技术编号:3421110
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种真空镀膜机或类似设备,具体地说是一种镀 膜机防屑型抽真空口结构。技术背景目前现有的镀膜机腔体内原有的抽真空口结构一般均采用在孔口 加一层金属丝网作防护,该结构的不足之处是小颗粒易进入,且降低抽真空速度约15%,如金属丝网破损将导致较大颗粒状物体被吸或直 接掉落至分子泵高速旋转的叶片上,造成分子泵严重损坏。 发明内容本实用新型的目的则是针对上述现有技术的不足,提供一种可将 颗粒异物挡住,同时不降低抽真空速率的镀膜机防屑型抽真空口结构。 本实...
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