技术编号:3422695
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明主要涉及一种用于化学气相淀积的加热装置和一种与所述加热装置相配套的衬底 载盘,进一步是指所述加热装置由若干单独测控的扇形加热单元组成,在所述扇形加热单元 之间可以放置衬底载盘支撑或反应腔顶盖支撑。使用该加热装置和衬底载盘可以简化大型化 学气相淀积反应器的设计和结构,降低制造和使用大型化学气相淀积反应器的成本。该加热 装置适用于加热大直径环形或圆形或由若干扇形单元组成的环形或圆形衬底载盘等优点。背景技术化学气相淀积通常需要在高温下分解气态反应剂。衬底表...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。