技术编号：3422733
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种真空賊镀机的阴极构造。 背景技术如一般半导体业界所认知的，气象沉积设备及电浆沉积系统设备是今年来 特定电子设备之生产制造厂商积极研发及建构之项目，尤其是可适用于各种尺 寸晶圆之物理气象沉积设备，其所包含之重要如真空賊镀装置领域、 机台专用装置开发及控制软体整合系统等等，包括了多种，而其中机 台专用装置之研发可以说是关系到整个系统成败相当重要之因素，唯因机台专用装置之领域牵涉到各专业领域工业，必须对各专业技术加以了解如真空賊 镀领域上非常需...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。