技术编号:3422734
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种溅镀机的冷却装置。 背景技术现有溅镀机的结构主要包含有 一溅镀源,该溅镀源以离子溅射原理,先 利用电场使两极间产生电子,这些加速电子会与真空腔中已预先充入的惰性气 体碰撞,使其带正电,这些带正电的粒子会受阴极(靶材)吸引而撞击阴极, 入射离子受到电场作用获得动量,撞击靶材表面的原子,这些原子受到正电离子 的碰撞得到入射离子的动量转移,被撞击的靶材表面原子因接受入射离子的动 量,对靶材表面下原子造成挤压使其发生移位,此靶材表面下多层原子挤压...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。