技术编号：3423047
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及利用金属有机化学汽相淀积(M0CVD)技术生长外延片，尤其是指应用于高频加热技术时常用的一种提高安全性的石墨盘抓手。背景技术金属有机化学汽相淀积(MOCVD)系统是一种能够制备纳米量级超薄层材料的研究和生产设备，被广泛用于纳米半导体材料及器件的研究和开发工作，在MOCVD设备上进行材料生长需要快速的升降温工艺，常用中高频感应加热和电阻丝加热两种。用中高频加热时常使用石墨盘做加热主体，石墨盘是一种洁净的加热方式。由于传统的石墨盘抓手利用的是杠杆...
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