技术编号：3423572
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种适合于工件大批量生产的真空镀膜系统，特 别是一种双端多室真空镀膜装置。背景技术在目前应用于管状、片状及柱状等小件物品镀膜的真空装置，多 为一个镀膜室配一套真空获得系统而组成的单机真空镀膜设备。在生 产过程中， 一个工作周期主要包括装工件、抽真空、镀膜、充大气、 卸工件等五个步骤。由此看出，在每一个工作周期中，都要对镀膜室 抽一次真空、充一次空气，这种周期式的镀膜方式，对能源浪费的同 时生产效率也大大降低且工艺控制难度增加。真空状态下制备的...
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