技术编号:34237851
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及半导体技术领域,尤其涉及一种体声波谐振器及其制备方法、一种谐振器组件、一种滤波器和一种电子设备。背景技术.体声波谐振器的基本结构是由压电层和分布在其上下表面的金属电极构成的“三明治”结构,在压电层上下表面的金属电极上施加电压后,压电层会产生交变电场,由于压电层的逆压电效应,压电层会产生形变,微观上表现为声子的振动,宏观上形成声波,此声波为压电层内部的体声波(bulk acoustic wave,baw),通过这样一个过程,将电能转化为以声波形式存在的机械能,体声波的传输路径等于上...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。