技术编号:3424502
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种可适用于氮化物晶体的表面研磨的研磨浆料,以 及其制备方法。背景技术可用于例如发动机的滑动零件等的氮化物陶瓷部件的类型包括由Si3N4晶体、A1N晶体、TiN晶体、GaN晶体等组成的烧结体。在本发 明中,术语"晶体"包括单晶体和多晶体,并且以下同样适用。这些 由晶体组成的烧结体形成具有所期望的形状。所形成的物体被研磨以 具有平坦、光滑的表面。由此制成滑动零件。形成用作半导体器件衬底的晶片的晶体类型包括绝缘性晶体(如 Si02晶体)及半导体晶体(...
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