技术编号：3424556
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于在容器上形成蒸镀膜的蒸镀装置。 背景技术在下述的专利文献l中，公开有包括输送部件的CVD蒸镀 装置。在输送部件上设有圆形状的输送面，输送面以朝向上下 方向的旋转轴为中心移动地构成。输送面在周向上被分成4个 区域，在各区域上设有保持架和涂敷设备，收容有被蒸镀的塑 料瓶等多个零件的壳体借助于保持架而被供给到涂敷设备。在输送部件的外部确定如下位置用于面对输送部件地将 壳体供给到保持架的供给位置、配设有在蒸镀处理前对涂敷设备进行减压的泵的排出(减压)...
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