技术编号：3424838
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于采用蒸镀法在被处理体上形成所希望的膜的蒸镀源单 元、蒸镀装置以及蒸镀装置的使用方法。特别是涉及载气的加热方法。另外，本发明涉及用于采用蒸镀法在被处理体上形成所希望的膜的蒸 镀源单元的温度调整装置、蒸镀源单元的温度调整方法、和蒸镀装置的温 度调整方法。特别是，本发明涉及基于冷却和加热的蒸镀源单元的温度控 制和具有该蒸镀源单元的蒸镀装置。背景技术近年来，利用了使用有机化合物使其发光的有机电致发光(EL Electro luminescence)元...
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