技术编号：3425032
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及控制生产气体浓度以在进程空间处理衬底的方法，其中利 用经过喷射器的承载气体的气泡蒸发喷射器中的液体。 背景技术所谓喷射器用于产生类似蒸汽的生产气体，喷射器主要包括密闭容器， 蒸发的液体被引入其中。蒸发的液体可以是任意类型的，例如规定浓度的酸。因而，液体可以是不同浓度的曱酸(HC00H)。对于实际的蒸发过程， 承载气体通过具有多个开口的喷嘴输液管进入容器的最下部区域。例如将 N2、 N2H2、 H2等或输入气体作为承载气体。而后在喷射器中承载气体经...
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