技术编号:3425062
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过反应性溅射法沉积的^f氐折射率膜、其沉积方法、以及包括该低折射率膜的防反射膜(抗反射膜,antireflection film )。背景技术通常,在诸如阴极射线管(CRT)或者液晶显示器的显示装置 中,在显示图像的表面上设置防反射膜。设置该防反射膜从而降低 外部光的反射,从而再生优选的图像或者文本信息,并且该防反射 膜通过堆叠具有不同折射率的薄膜材料而形成。这样的防反射膜通过例如在由有机材料构成的透明膜基体上 堆叠由诸如氧化硅、氮化硅或氟...
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