技术编号:34251880
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,尤其涉及一种高低压级制冷设备。背景技术.现有电子级多晶硅生产用的是vlg系列高低压级制冷机,当对vlg系列高低压级制冷机机头能级活塞油缸检修时,须对高低压级制冷机停机。停机后主油泵停止运行,无法通过电磁阀对机组进行加减负荷操作,致使积聚在能级活塞油缸内的润滑油及液态氟利昂无法正常排出。.检修时,检修人员需手动缓慢松动油缸外下端的丝堵来排出油缸内残存的润滑油及高压氟利昂。此时因温度变化,油缸内氟利昂急剧膨胀汽化,丝堵存在瞬间崩出的风险,而且在该过程的氟利昂...
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