技术编号:3425250
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在等离子体处理设备中实时诊断部件状况的方法和装置背景技术等离子体已经被用于许多应用中,比如半导体处理步骤。传统的等离子体处理设备产生具有生硬的热力和/或化学性质,这导致对在这些处理步骤中暴露于其中的许多部 件的磨损。由于等离子体的侵蚀本性,与等离子体的重复接触可能导致一个或多个部件被 逐渐腐蚀和/或突然失效,降低该设备的性能并使得处理的结果随着时间而改变。 同样地,仔细监视这些部件的状态并在适当的时间替换这些部件是很重要的。如 果太快地替换这些部件,丢弃那...
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