技术编号:3425291
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。大气压等离子体本发明涉及在工艺气体中生成非平衡大气压等离子体的方法,和用如此生成的非平衡大气压等离子体来等离子体处理表面的方法。当物质被连续供应能量时,其温度升高且它典型地从固体转变为液体,然后转变 为气态。继续供应能量将引起体系经历状态的进一步变化,其中通过能量碰撞,使气体中的 中性原子或分子断开,产生带负电荷的电子、带正电荷或负电荷的离子和其他物种。显示出 集体行为的荷电颗粒的这一混合物被称为“等离子体”。由于它们具有电荷,因此等离子体 受到外部电磁场...
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