技术编号:3425449
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在工件的表面进行成膜的。 背景技术在例如手机的主体外壳、汽车的门把手等工件的装饰涂装中,经常使用进行反射 防止膜等的光学薄膜等的成膜的溅射装置。在溅射装置中,在真空槽内盛满稀薄的溅射气 体,在该真空槽内将靶材料作为一个电极来进行辉光放电。而且,使通过该辉光放电而产生 的等离子的阳离子与靶材料碰撞,从而从靶材料中击出溅射粒子(原子、分子),使该溅射 粒子堆积在工件表面从而形成薄膜。此外,还有一种反应溅射法,除溅射气体之外还向真空 槽内导入氧气、...
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