技术编号：3425707
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种适用于切割加工陶瓷、单晶体材料等被加工物的薄刃砂轮及其制 造方法。背景技术目前，作为高精度地切削加工硅、GaAs、铁素体等被加工物的薄刃砂轮(切割刀 片)，公知有薄板环状的电铸薄刃砂轮。该电铸薄刃砂轮是将金刚石、cBN等磨粒分散配置 于金属结合材料中而成的砂轮，形成为其厚度为数十Pm 数百μ m左右的薄板环状。薄 刃砂轮在其内周侧区域保持砂轮轴，通过使砂轮轴旋转，能够在外周侧区域对被加工物进 行切割加工及开槽加工。由于近年电子零件的小型化及产...
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