技术编号:3426222
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是涉及用来在衬底上淀积薄膜的内嵌式溅射系统;特别是涉及在多个玻璃衬底上连续地淀积薄膜的内嵌式溅射系统,在这里,淀积物的均匀性和与衬底结合的坚固性都得到提高。背景技术在制造半导体、LCD(液晶显示)、PDP(等离子显示屏)和投影电视以及类似的这些产品的过程中,溅射技术已经广泛的应用到了对薄膜淀积的处理中。根据加载和卸载方式的不同,溅射技术可以划分为三种类型,例如内嵌式、分批式、内-背(inter-back)式。在分批式的溅射技术中,衬底直接装载到一个镀...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。