技术编号:3427145
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及材料领域,特别是一种是用脉冲电弧放电电离有机溶液。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是这样的用脉冲电弧放电电离有机溶液,将有机溶液在常温常压和脉冲电压0.5~30KV条件下,诱导阴、阳电极间产生脉冲电弧放电,使有机溶液电离成含碳等离子体,冲向并沉积在基板上,制得金刚石薄膜或类金刚石薄膜。本发明具有如下主要优点其一.在常温常压下即可合成金刚石或类金刚石薄膜。其二.沉积速率快,在大气环境下产生稠密的含碳等离子体,从而提高了生产效率,利于推广金刚石和...
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