技术编号:3427281
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种金属有机物化学气相沉积(MOCVD)的进液装 置,属于低压MOCVD领域,特别是MOCVD沉积超导薄膜的制备技术。 背景技术进入二十一世纪以来,人类一直面临着能源短缺这一严峻的问 题。在耗费巨资探索新能源的同时,能源有效利用方面的研究也将起 到关键的作用。YBCO高温超导材料,以其使用温度高、高场电流承 载能力强、成本低廉等特点,在弱点和强点应用方面都有很好的前景。 而YBCO高温超导带材(涂层导体)更是在超导发电机、电动机、 强场磁体、限流...
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