技术编号:3427832
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于 一种扫描蒸镀制膜的方法及设备。 背景技术薄膜光伏电池,包括CIGS光伏电池可替代单晶硅材料用作太阳能发电,晶 体硅材料作为光伏发电材料价格昂贵,制作难度大,成本高,难以推广使用。 最新的科学显示可以用在玻璃或其他材料的基板上用电子枪蒸镀方法镀数层金 属和非金属薄膜来替代晶体硅材料用作太阳能发电,这种新材料价格低廉,利于推广使用。用电子枪蒸镀方法镀数层金属薄膜在基板上,要求薄膜必须厚度 均匀,但目前的设备难以达到这样的要求。传统的电子枪蒸镀设备包...
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