技术编号:3428246
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳米晶—、'厂方氮化硼薄膜中残留压縮应力的释放方法。 背景技术立方氮化硼薄膜的维氏硬度达到5000-6000 kg/mm2,在自然界中硬度仅次 于金刚石,因为立方氮化硼薄膜甚至在1100。C高温时都不和铁基合金以及空气 中的氧气发生反应,可望成为加工钢铁制品的理想刀具材料(金刚石在温度达 到700。C时,开始与铁和氧气发生化学反应,不适合加工钢铁材料)。另外,立 方氮化硼薄膜在红外和可见区透明、禁带宽度为6.4 eV、易于进行p-型和n-型 掺杂...
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