技术编号：3428719
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及研磨工具，尤其是涉及使研磨工具中的磨料规则转向的方法及其产 背景技术各种研磨工具广泛的应用于石材、水泥、玻璃、砖瓦、陶瓷、金属等材料的加工。尤 其应用于晶片制造上的研磨工具，为了使CMP研磨垫获得较佳的研磨功能，研磨垫上的钻 石颗粒的粒度(Particle size)、锐利度及多数颗钻石颗粒的排列图案(Pattern)、间距 (Pitch)及露出高度(Protrusion height)等均需加以适当的规划及配置。有许多将钻石颗粒等磨料颗粒依据...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。