技术编号：3428906
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种制备薄膜的大面积沉积设备，特别是一种超声起雾效应制备薄膜的大面积沉积设备，属于薄膜材料领域。背景技术 氧化物薄膜具有化学性质稳定，导热良好，硬度高，光学性质优良。多数氧化物薄膜电气绝缘性能好，但少数也可以具有相当好的导电性。目前，应用于微电子，光学等领域的高性能氧化物薄膜大多通过磁控溅射、蒸发、等离子体化学气相沉积、低压化学气相沉积等真空技术制备。而以太阳电池、建筑节能玻璃为代表的超大面积应用则延用沉积速度较高的常压化学气相沉积技术制备。...
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