技术编号：3429826
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。供参照的相关申请本申请是1994年1月7日申请，申请号08/179001共同未决申请的一分案及其部分继续申请。本发明属高精密电子元件的制造领域，具体与用作这类元件制造处理试剂的氨的制备及处置有关。背景技术在电子元件制造的各个工序，污染是一个关键问题。污染控制对产品质量至关重要，而且，为获得预期的产率及经济效益，极大限度地保证制造环境的洁净程度也所必需。尤其在制造高密电路以及超精密轴承、记录头和LCD显示装置的场合，这些要求就更为严苛。污染源包括制造中的公用...
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