技术编号:34299089
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及一种炉管加热器。背景技术.炉管加热器被广泛地应用于半导体制造产业。现有的炉管加热器造价昂贵,到达使用年限后,加热器加热效率和均匀性大大降低,主要是由于加热器表面被氧化形成氧化层,因此加热器必须使用更高的功率才能对产品(例如半导体晶圆)造成同样的加热效果。通常炉管加热器到达使用年限后会被直接换掉,期间并不对加热器进行维护。由于加热器整体更换较为困难,成本也较大,同时由于半导体制造领域所应用的炉管机台的加热器普遍存在占用较大空间、难以拆卸更换的问题,导致每次更换需要大量人力与时间,而...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。