技术编号:3430243
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种氮与硅的二元化合物,特别涉及一种制造高纯度超细氮化硅的方法及设备。常用的制造高纯度超细氮化硅的方法是气相反应法,以硅烷和氨气为原料,通过气相化学反应合成氮化硅粉体,其化学反应式为根据加热方式的不同,可分为热气相化学反应法和激光法。关于热气相化学反应法,是在电阻加热的管状反应器中进行,通入硅烷和氨气,在反应器内发生气相化学反应制成氮化硅粉体。其优点是设备投资少,操作简单,成本低。存在的缺陷是反应较难控制,氮化硅颗粒粗细不匀,且有成团现象,游离硅...
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