技术编号:34302730
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。torr。。.在一个实施例中,所述氟化铵气体包括nhf和nhf.hf中的一者或多者。.在一个实施例中,氢氮化物为氨气。所述将反应气体三氟化氮和氢氮化物通入远程等离子源中,解离成氟化铵气体的步骤涉及以下化学反应:.nfnh→nhfnhf.hf。.在一个实施例中,所述氟化铵气体与石英窗的二氧化硅反应得到第一氟硅酸胺固体的步骤涉及以下化学反应:.nhf or nhf.hfsio→(nh)sifho.其中,(nh)sif为固体。....
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