技术编号:34303488
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及压力传感器技术领域,具体而言,涉及钢基小量程纳米薄膜弹性体、制造方法及压力传感器。背景技术.金属钢基溅射薄膜压力传感器是压力传感器领域的新星,它具有精度高、稳定性好、工作温度范围宽、可以测量超大量程等优点,广泛应用于石化、工程机械、电力等多个领域。.但现有技术中金属钢基溅射薄膜压力传感器实现小量程的测量极其困难,原因是离子溅射镀膜时对膜片表面光洁度要求纳米级以上,同时小量程在膜片厚度方面要求以“薄”为基准,越薄测量的压力就越小,灵敏度跟芯体的膜厚成正比,因此对弹性体加工时,...
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