技术编号:3431594
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及制备纯硅的方法。 背景技术纯硅(Si),是一种重要的工业原料,在电子器件的制备领域,有十分重要且广泛的应用。目前,常规的纯硅(Si)的制备方法,如(1) 西门子法,该方法采用氯和合金硅在高温下合成三氯氢硅SiHCl3,副产品四氯化硅和氯气,严重污染环境,并且,需要使用大量碳燃料,在 高温下反应合成三氯氢硅和四氯化硅时,将产生大量二氧化碳和氯气,排放到大气中,将增加环境的负担;(2) 改良西门子法,该方法在节能上有所改善,但是,该方法使用氟 化物在...
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