技术编号:3431745
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。对涉及申请的交叉引用本申请涉及于2000年2月18日申请的待决美国专利申请序列号No.09/507,711,以及于2000年2月25日申请的No.60/184,970,并要求它们的优先权。本申请获国家科学基金会小型商业改革研究项目许可,许可号No.DMI-9901717。发明背景有时细杆由金属杆代替,它更易导电并且更易用电流加热。该法称为“罗杰斯黑兹”(Royers Heitz)法。然而,金属引入化学气相沉积工艺引入了金属污染,此多晶硅产品的污染在半导体/...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。