技术编号:3432006
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明具有以下目的-以原创形态即珠粒形态制造的多晶碱金属或碱土金属氟化物;-所述的氟化物的制造(调节)方法-使用前述原创形态的多晶氟化物来制造相应的碱金属或碱土金属氟化物单晶的方法-提供制造光学氟化物晶体原料珠粒和用光学氟化物晶体原料珠粒制造光学氟化物单晶的的经济方法。本发明具体是为制造氟化物单晶、特别是光学氟化物单晶和光刻元件氟化物单晶坯料、尤其是CaF2单晶而开发的。虽然对CaF2晶体进行了更为具体的描述,但本发明不限于所述的晶体。用Stockbarg...
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