技术编号:3432253
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及有效回收包含在使用过的浆液中的硅的方法,等等。背景技术 对于从使用过的浆液中回收硅(Si)的方法,有常规方法,在该方法中,使用氟化氢(HF)或无机酸处理浆液,然后进行过滤步骤和干燥步骤,并将干燥物粉碎并分级,以获得硅(参见特开2001-278612号公报)。发明内容本发明将要解决的问题然而,现有技术要求大尺寸的设备和大量的劳动力,因为现有技术包括许多步骤。尤其是,当矿物油用于浆液时,需要有机溶剂等,这花去极大的费用来安装安全设备和采取环境措施用于...
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