技术编号:3433589
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及无声放电式等离子体装置,特别涉及即使在电介体破 损了的情况下也能够继续通过非破损部分安全地运转的具有导电性薄 膜电极的无声放电式等离子体装置。背景技术作为现有的无声放电式等离子体装置的一个例子,有无声放电式 臭氧产生装置。在无声放电式臭氧产生装置中, 一般釆用在电介体势 垒中使用玻璃管的电极构造。由于在金属电极之间存在电介体势垒, 所以在金属电极间产生的放电不会转移为电孤,而循环进行放电的停 止和发生。但是,在金属电极间产生异常放电,温度上升或施...
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