技术编号:3434706
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及气体的净化,更具体地说,涉及一种利用吸收和蒸发技术生产不含杂质的净化半导体气体的方法。目前,提供给电子产品用户的瓶装氨,其规格为含水量低于3ppm。这样“高的”含水量值实际上是由于受过去分析技术的限制和这并非是实际可达到的水平。由于这一限制,净化效果没能准确地得到证明。为了达到3ppm或更小的含水量,源气瓶中较高含水量的氨被转换成汽相充入指定瓶中。这种处理方法可认为能足以使含水量降至3ppm规格。可是曾发现,简单的汽相转换(vapor pha...
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